余姚半导体溅射靶材産業集積
余姚市半导体溅射靶材产业集群2024年入选国家级中小企业特色产业集群
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産業概要
余姚市半导体溅射靶材产业集群2024年入选国家级中小企业特色产业集群。集群以半导体靶材用超高纯金属材料、核心装备及关键零部件为主导产业，已基本形成以江丰电子为链主，以创润新材料、江丰同芯半导体等为配套，以铝、铜、钛、钽和钨、钼为主的“金属提纯制备—靶材制造—溅射镀膜—终端应用”溅射靶材全产业链。配套企业创润新材料是国内唯一的超高纯钛金属产业生产基地。
市場での位置づけ
江丰电子高纯金属溅射靶材市场占有率稳居全球第二、全国第一，产品进入全球领先的3纳米工艺制程，客户涵盖台积电、中芯国际等国际晶圆制造企业；在集成电路封测领域，甬矽电子SIP封装技术处于行业领先水平；在制造设备及零部件领域，润华全芯微具备4—12英寸电子器件生产设备制造能力，匀胶显影机、去胶剥离机实现“国产替代”。上述市场地位数据来自宁波市经济和信息化局与余姚新闻网公开报道。
規模と生産額
- 2024年获批国家级中小企业特色产业集群
- 集群口径（截至2023年）：集群产值超100亿元，拥有高新技术企业和创新型中小企业42家，国家级单项冠军1家，专精特新“小巨人”1家，PCT国际专利申请量18个，有效发明专利316个，引进知名科研院所26家
- 全市半导体产业口径（据余姚新闻网2025-05-28）：半导体产业领域规模以上企业91家，其中10亿元以上4家、亿元以上31家
- 累计获评国家级“链主”企业2家、国家级单项冠军1家、国家级专精特新“小巨人”企业7家，培育上市企业2家
- 近3年产值年均增速18.9%
- 累计建成省级企业研发中心21家、宁波市企业技术研发中心19家
- 其他公开数据：建成国内唯一、全球前三的超高纯钛金属产业生产基地
- 高端新材料集群核心区全年实现营业收入382.5亿元，同比增长9.7%
- 上述不同统计范围与年度口径并列保留，未作相加
発展の経緯
2005
第一块国产半导体工业用溅射靶材在江丰电子生产线诞生
2014
姚力军及其团队研发出超高纯钛，结束该材料长期依赖进口的历史
2017
成为国内首家溅射靶材上市公司
2019
姚力军成立同创普润集团，攻坚超高纯铝、铜、钽等制备技术
2021
底钽材料加工厂在丽水建成投产
2022
全球市场份额跃居第二
2024
集群获批国家级中小企业特色产业集群
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余姚半导体溅射靶材由传统半导体材料制造向半导体溅射靶材、超高纯金属材料、超高纯钛金属、核心装备、关键零部件、铝钛铜钽全工艺流程与全产业链发展。2005年第一块国产半导体工业用溅射靶材在江丰电子生产线诞生；2014年姚力军及其团队研发出超高纯钛，结束该材料长期依赖进口的历史；2019年姚力军成立同创普润集团，攻坚超高纯铝、铜、钽等制备技术；2021年底钽材料加工厂在丽水建成投产。江丰电子研制出国内首块集成电路溅射靶材，2017年成为国内首家溅射靶材上市公司，2022年全球市场份额跃居第二；2024年集群获批国家级中小企业特色产业集群。
産業チェーン
原料から顧客まで、この産業クラスター内でおおよそどのように分業されていますか
上流
原材料と設備
- 高纯金属或相应化合物材料
- 背板
- 连接材料和精密加工检测设备。
中流
地域の生産工程
- 1材料制备
- 2按材质熔铸或粉末成型等加工
- 3机加工、靶材与背板连接和检验。
下流
用途と顧客
- 晶圆制造及其他薄膜沉积客户
- 配套溅射设备使用。
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上游：高纯金属或相应化合物材料、背板、连接材料和精密加工检测设备。 中游：材料制备→按材质熔铸或粉末成型等加工→机加工、靶材与背板连接和检验。 下游：晶圆制造及其他薄膜沉积客户，配套溅射设备使用。 配套：靶材是沉积工艺耗材，溅射装备为客户生产工具，不能列作靶材加工后的成品。 资料边界：按原稿产品范围进行行业关系校订。本地实际供应商、客户和投产范围未逐项外部验证，不据通用关系认定当地已具备全部环节。
靶材是沉积工艺耗材，溅射装备为客户生产工具，不能列作靶材加工后的成品。
按原稿产品范围进行行业关系校订。本地实际供应商、客户和投产范围未逐项外部验证，不据通用关系认定当地已具备全部环节。
企業名簿
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情報元：宁波市经济和信息化局、余姚市人民政府、余姚市经济和信息化局、余姚新闻网（姚界客户端）、中国宁波网、经济日报（凤凰网转载）、宁波江丰电子材料股份有限公司公开披露文件
最終更新 2026-09-22